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Zr(NMeEt)4 (TEMAZ)

中文名称四(乙基甲基氨基)锆(IV)
CAS号175923-04-3
分子式C12H32N4Zr
分子量323.63

常见用途:一种无色透明液体,可以和其他共反应物沉积氧化物、氮化物等薄膜,其生长的氧化物是一种高K介质材料,具有非常好的热稳定性,被用作栅介质替代层和保护涂层。


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