产品详情
Ta(NMe2)5 (PDMAT)
| 中文名称 | 五(二甲基氨基)钽(V) |
| CAS号 | 19824-59-0 |
| 分子式 | C10H30N5Ta |
| 分子量 | 401.33 |
常见用途：一种对水气敏感的橘黄色固体粉末，用于ALD/MOCVD，制备Ta2O5、TaNx等薄膜，广泛应用在微电子领域中铜扩散阻挡层、电容器、存储器、能源电池、光催化等领域。
您有任何问题或需要请联系我们，我们期待您的来电！
Ta(NMe2)5 (PDMAT)
| 中文名称 | 五(二甲基氨基)钽(V) |
| CAS号 | 19824-59-0 |
| 分子式 | C10H30N5Ta |
| 分子量 | 401.33 |
常见用途：一种对水气敏感的橘黄色固体粉末，用于ALD/MOCVD，制备Ta2O5、TaNx等薄膜，广泛应用在微电子领域中铜扩散阻挡层、电容器、存储器、能源电池、光催化等领域。
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