产品详情

Ti(iPrO)4 (TTIP)

中文名称钛酸异丙酯
CAS号546-68-9
分子式C12H28O4Ti
分子量284.22

常见用途:一种对水敏感的无色/淡黄色液体;用于ALD/MOCVD,制备TiO2、BaTixOy、PbTixOy、 SrTixOy等薄膜,应用于动态随机存取存储器、Cu扩散屏障、CMOS金属栅材料、场效应晶体管、催化等领域。


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