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SiH(NMe₂)₃ (3DMAS)

常见用途：一种无色的易燃液体，可作为Si的氮化物薄膜及氧化物薄膜的ALD前驱体源，薄膜可广泛应用于电子器件、集成器件、光学薄膜器件、化学和生物传感器器件上，此外，在光催化、微电子和透明绝热等领域具有良好的发展前景。