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CpZr(NMe2)3 (CpTDMAZ)

中文名称(环戊二烯基)三(二甲基酰胺)锆
CAS号33271-88-4
分子式C11H23N3Zr
分子量283.51

常见用途:一种黄色液体,在半导体领域,微电子行业等具有广泛应用,尤其是作为高K绝缘层和热障涂层材料。


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