产品详情
Ti(NMeEt)4 (TEMAT)
中文名称 | 四(乙基甲基胺基)钛(IV) |
CAS号 | 308103-54-0 |
分子式 | C12H32N4Ti |
分子量 | 280.28 |
常见用途:一种对水氧敏感的黄色液体; 用于ALD/MOCVD,制备TiO2、TiN薄膜,应用于动态随机存取存储器、Cu扩散屏障、CMOS金属栅材料、场效应晶体管、催化等领域。
您有任何问题或需要请联系我们,我们期待您的来电!
Ti(NMeEt)4 (TEMAT)
中文名称 | 四(乙基甲基胺基)钛(IV) |
CAS号 | 308103-54-0 |
分子式 | C12H32N4Ti |
分子量 | 280.28 |
常见用途:一种对水氧敏感的黄色液体; 用于ALD/MOCVD,制备TiO2、TiN薄膜,应用于动态随机存取存储器、Cu扩散屏障、CMOS金属栅材料、场效应晶体管、催化等领域。
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