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Ti(NMeEt)4 (TEMAT)

中文名称四(乙基甲基胺基)钛(IV)
CAS号308103-54-0
分子式C12H32N4Ti
分子量280.28

常见用途:一种对水氧敏感的黄色液体; 用于ALD/MOCVD,制备TiO2、TiN薄膜,应用于动态随机存取存储器、Cu扩散屏障、CMOS金属栅材料、场效应晶体管、催化等领域。


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