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W(NMe2)2(tBuN)2 (BTBMW)

中文名称双(叔丁基亚氨基)双(二甲基氨基)钨(VI)
CAS号406462-43-9
分子式C12H30N4W
分子量414.23

常见用途:一种具有胺样气味的黄色可燃液体,可用于W的氮化物薄膜、氧化物薄膜、碳化物薄膜的ALD前驱体源,可广泛应用于薄膜电容器、电致变色、催化、硬质涂层和微电子等领域。


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