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Trimethylgallium (TMGa)

中文名称三甲基镓
CAS号1445-79-0
分子式C3H9Ga
分子量114.83

常见用途:一种对水氧极其敏感的无色液体;用于ALD/MOCVD,制备GaN、GaAs、AsGaAl等半导体薄膜材料,是制备半导体材料的核心基础材料之一,广泛应用于集成电路、液晶显示、LED照明、传感器、激光器、光伏电池等行业。


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